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白色點光源通過色散共焦探頭后照射到目標上,光源中不同波長成分形成縱向分布;目標上的光點通過共軸光路返回后通過小孔光闌,接入到光譜儀中。當與目標的距離產(chǎn)生變化時,聚焦的光線的波長也會隨之變化,在光譜儀中產(chǎn)生不同的光譜分布??蛇M行多層透明測厚、結構件平面度分析等。